南京看视界智能科技取得掩膜结构专利,提高目标图案尺寸精度:膜结构

金融界2025年2月20日消息,国家知识产权局信息显示,南京看视界智能科技有限公司取得一项名为“掩膜结构”的专利,授权公告号 CN 222499330 U,申请日期为2024年3月膜结构

专利摘要显示,本申请提供一种掩膜结构,掩膜结构由单晶硅制成,掩膜结构包括掩膜结构本体和多个开口,多个开口共同形成待转移图案;掩膜结构具有相对的第一表面和第二表面,多个开口均贯穿第一表面和第二表面,每个开口的截面形状均为梯形,开口的短边位于第一表面,开口的长边位于第二表面,短边用于朝向目标工件膜结构 。本申请提供的掩膜结构在目标工件上形成的目标图案的尺寸精度较高。

天眼查资料显示,南京看视界智能科技有限公司,成立于2021年,位于南京市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业膜结构 。企业注册资本54.0249万人民币,实缴资本14.58万人民币。通过天眼查大数据分析,南京看视界智能科技有限公司共对外投资了2家企业,知识产权方面有商标信息5条,专利信息27条,此外企业还拥有行政许可11个。

来源:金融界

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